レーザ用光学部品

レンズ

鋭く美しい切れ味と経済性を併せ持つ集光レンズは、レーザビームを集光させるために使用し、加工品質を左右する加工の最前線に位置するレンズです。集光レンズの集光特性は、主にレンズの材料(ZnSe)、レンズの形状(平凸、メニスカス)および焦点距離によって変わってきます。また、アシストガスが高圧の場合には耐圧レンズを使用する必要があります。

材 料

赤外線であるCO2レーザ光の透明度が高く(吸収係数が小さく)、可視ガイド光が透過する材料であるジンクセレン(ZnSe)が最もよく用いられます。

形 状

非球面、平凸、あるいはメニスカス形状のレンズが使用されます。焦点距離が長いほど、集光スポット径は大きく、焦点深度は長くなります。加工対象にあわせてお選びください。高圧のアシストガスを使用する切断加工では、ガス圧に応じた厚みをお選びください。

Fθレンズ(スキャンレンズ)

スキャナ-等で走査したレーザビームを集光させるレンズです。プリント配線板の高速穴あけや電子部品や樹脂部品の高速マーキング用途などに使われます。

ビームエキスパンダ

レンズへの入射ビーム径を変更させたり、レーザビーム長距離伝送時の拡がり角を抑制したりする際に使用します。固定倍率タイプと可変倍率(ズーム)タイプがあります。

ミラー

高出力レーザビームの品質を低下させることなく確実に伝送するとともに、耐久性を併せ持つミラーです。

材 料

光学的精度を得るための加工特性、冷却効率を考え熱伝導性に優れた銅(Cu)やシリコン(Si)が用いられます。また、スパッタの付着が激しい部位には、高融点、高硬度の材料特性を持つモリブデン(Mo)が利用されます。

コーティング

ミラー表面には、反射率の確保、偏光制御、耐久性の向上のために各種コーティングが施されます。用途や使用環境に応じて、コーティングの種類を選択する必要があります。

放物面鏡

5kW以上の高出力レーザ光の集光に威力を発揮します。材質には熱伝導性に優れ、超精密切削加工が可能な銅(Cu)が主に用いられます。また、軽量化が必要な部位にはアルミニウム(Al)が用いられることもあります。表面コーティングは、反射率が良好で熱伝導性、耐久性に優れた金(Au)が一般的です。またスパッタの付着が激しい部位には、高融点、高硬度の材料特性を持つモリブデン(Mo)がコーティング材として使用されます。